MEGATORR真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

MEGATORR真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

焊接金屬

焊接膠體作為一般真空設(shè)備、半導(dǎo)體制造裝置中可動部分的真空保持和裝置的排氣管道而被大量使用。特別是為了保持裝置可動部的真空，需要考慮安全性/氣密性和耐久性，使用高品質(zhì)金屬的焊接金屬。本公司的焊接金屬在ISO 9001認證工廠進行管理、制造、檢查，提供令人放心的高品質(zhì)焊接金屬。

石英制品

在半導(dǎo)體工程中使用的石英產(chǎn)品，特別要求品質(zhì)嚴(yán)格。本公司經(jīng)營的Wonk Quartz公司生產(chǎn)的石英制品是ISO 9002認證工廠生產(chǎn)的高質(zhì)量、高精度的產(chǎn)品。備齊各種石英。

逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安裝在真空排氣泵上部，是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物和粉塵在Chamber內(nèi)和排氣系統(tǒng)中累積過程中如果泵緊急停止的話，會引起Chamber內(nèi)粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber內(nèi)產(chǎn)品污染。通過使用Chamber防護，在停止泵時，通過瞬間切斷排氣系統(tǒng)，防止粉塵逆流，保護產(chǎn)品不受污染。

真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生產(chǎn)的電容表配備了SetPoint繼電器的顯示器和電源供應(yīng)單元?？梢赃B接一臺或兩臺電容表。內(nèi)置2個或4個獨立動作的定點繼電器。連接帶有溫度支架輸出的電容表時，可以顯示溫度支架。