SHINKU真空光學(xué)自動直線導(dǎo)入機WS-80用途

SHINKU真空光學(xué)自動直線導(dǎo)入機WS-80用途

直線導(dǎo)入機VL-40S，VL-70S，MLM-40ST，VCM-B

規(guī)格

焊接回流使用：伸縮方式

精確度：1mm/Rev、0.05mm/div

連接法蘭：ICF70（114、152也可制作）

行程：0～40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

自動直線導(dǎo)入機WS-80，AVL-80S

其他，根據(jù)用途進行設(shè)計

規(guī)格

焊接回流：伸縮方式

行程：0～80mm

安裝法蘭：ICF70FH

前端部會根據(jù)用途制作

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

同軸自動變壓機械臂ATL34_80_BN，ATL34_50_BN，MTR-34，VTL-70，ATL-152/114-450ST，ATL34-LS

本產(chǎn)品與以往的直線導(dǎo)入機不同，可動軸貫通，加上可以安裝釣魚等的法蘭，使超高真空槽內(nèi)的直線移動、定位等能夠進行各種復(fù)合操作，因此附加了安裝法蘭ICF34可利用一般的送通，與使用電流導(dǎo)入端子的可動型檢測器及其他運動導(dǎo)入機組合，可安裝2軸動作機器人、氣體導(dǎo)入閥等的可動型噴嘴、輕便毛皮等廣泛使用。

規(guī)格

焊接貝羅使用：伸縮進給滾珠絲桿

精度：重復(fù)定位精度±0.01mm

分辨率：半步時0.00001mm/脈沖、限位開關(guān)?帶原點傳感器、使用接近點傳感器

行程：080mm BNC付ICF34附屬

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下